太阳电池镀膜设备

该设备是能实现高性能、高通用性的标准型真空镀膜机,在基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机,能够满足客户需求的多种元件组合在一起,制备优质太阳电池板。

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       太阳电池镀膜设备是能实现高性能、高通用性的标准型真空镀膜机,在基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机,能够满足客户需求的多种元件组合在一起,制备优质太阳电池板。

特点:
1、基片伞架采用了每分钟最多可转60转的中心旋转方式(公转),很少产生振动和颗粒,使基片能够稳定旋转。
2、采用坩埚上没有极片的电子束加热方式(2台电子枪,10kW型)作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜。
3、采用本公司独有的比率控制法和多点监视器(80点),可以形成高精度且稳定的光学多层膜。
4、可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。

尺寸 Φ718x900mm Φ950x1150mm Φ1200x1350mm Φ1400x1900mm Φ1700x2450mm
基片伞架 球状伞架、锥形伞架、平板夹具、反转夹具
蒸发源 电子枪方式、电阻加热方式
坩埚 φ35/φ40坩埚
离子源 离子束辅助镀膜、离子束清洗
排气时间 达到2×10-3Pa不超过10分钟(基片温度设定为300℃)
极限真空压 不超过5×10-5Pa
基片加热温度 常用250℃
膜厚分布 Δnd<±1.0%(按本公司标准发货基准)
所需电力 三相 200V±10% 约70kW(最大电力)
所需冷却水 约72L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气 不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)
太阳电池板