共轨喷射元件镀膜机

大幅降低新型共轨喷射器中受摩擦应力元件的磨损,可有效地防止磨料磨损和粘附磨损,增加承载能力和耐久性,确保极度缺乏润滑情况下的紧急运转。

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      共轨喷射元件镀膜机制备的涂层可大幅降低新型共轨喷射器中受摩擦应力元件的磨损,可有效地防止磨料磨损和粘附磨损,增加承载能力和耐久性,确保极度缺乏润滑情况下的紧急运转。真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只高效园形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动,提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多层超硬膜等。

型号 HC-850 HC-1000 HC-1200 HC-1500
负载直径 500mm 650mm 650mm 900mm
负载高度 500mm 650mm 850mm 1500mm
转轴托盘 8 6-12 6-16 9-18
转轴悬挂 variable - - -
负载数量 250kg 500kg 500kg 1200kg
应用技术

ACA,CARC,UBM,DMS 
Hybrid,PACVD,Laser 
arc,HIPIMS,HIPIMS+

ACA,CARC,UBM,DMS 
Hybrid,PACVD,Laser 
arc,HIPIMS,HIPIMS+
ACA,CARC,UBM,DMS 
Hybrid,PACVD,
HIPIMS,HIPIMS+
ACA,CARC,UBM,DMS 
Hybrid,PACVD
应用范围 快速工具涂层
快速汽车零部件涂层
快速装饰涂层
研发应用
大量工具涂层
研发
中型零部件涂层
大量小型零部件涂层
中型模具,拉刀涂层
装饰涂层
大量装饰涂层
大量大型汽车零部件涂层
大型挤压模,压铸模,拉刀

 

涂层 应用 显微硬度 厚度 摩擦系数 沉积温度
范围(℃)
最高工作
温度(℃)
应用技术 涂层系
统代码
TiN Tool 2500 1-6 0.7 <600 600 ACA/CARC
/HIPIMS+
A
AlTiN Tool 2500-3500 1-6 0.4 <600 900 ACA/CARC
/HIPIMS+
A
AlTiN+W-C:N Tool 2000-2500 1-6 0.2 150-450 450 HYBRID A
AlTiN+Al2O3 Tool 2300 2-4   450-600 1100 HYBRID B
AlCrN Tool 3000 1-10 0.35 <600 1100 ACA/CARC
/HIPIMS+
B
TiSiN Tool 3500 1-3 0.5 <600 1500 ACA/CARC A
TiCN Tool 3000 1-4 0.4 <600 600 ACA/CARC
/HIPIMS+
A
TiAlN Tool 2500-3500 1-6 0.4 <600 800 ACA/CARC A
TiN/TiAlN Tool 2500-3500 1-6 0.4 <600 800 ACA/CARC A
CrCN Tool 2000-2200 1-4 0.4 450-600 600 ACA/CARC A
CrN+W-C:H Tool/
Tribo
2000-2500 1-6 0.2 150-450 450 HYBRID/UBM A
CrN Tool/
Tribo
1500-2500 1-30 0.5 150-450 700 ACA/CARC/
UBM/HIPIMS+
A
Cr2N Tool/
Tribo
1500-3000 1-5 0.5 200-600 700 UBM/HIPIMS A
Cr+W-C:H Tool/
Tribo
1200-2000 1-5 0.1-0.2 160-300 400 UBM A
Cr+W-C:H
+DLC
Tool/
Tribo
2000-4000 1-3 0.05-0.15 160-300 350 UBM/UBM
+PACVD
A
CrN+W-
C:H+DLC
Tool/
Tribo
2000-4000 1-3 0.05-0.15 160-300 350 UBM/UBM
+PACVD
A
Cr+W-C:H
+Si-DLC
Tool/
Tribo
1500-2500 1-5 0.02-0.1 160-300 450 UBM/PACVD A
ta-C Tool/
Tribo
4000-7000 1-3 0.05-0.15 80-200 >500 CARC C
Ti/Cr/Zr
Carbon
Nitrides
Deco 可重复颜色,例如:抛光铜,镍,不锈钢,黑色和金色 ACA A
Ti/Cr/Zr
Carbon
Nitrides
Deco 可重复颜色,例如:抛光铜,镍,不锈钢,黑色和金色
广泛的色彩范围(低L值)
UBM A
Multilayer
coatings
Deco 不同的基底涂层,例如TIN,CRN,类金刚石DLC,在软基底
上获得的总硬度>650HV。高光泽,同时也应用于厚涂层
UBM/PACVD
/ACA
A
Metallization Deco 非反应(性)PVD,纯金属的沉积 UBM A

注:
1.厚度值针对标准使用情况,可根据客户需求调整
2.设备工作温度可设定为最高工作温度下任一温度值
3.涂层系统代码:A=所有系统     B=F850,F1000,F1200     C=F850,F1000

应用技术 技术 说明
ACA 先进的受控阴极电弧 在整个平面阴极上电磁控制的电弧
CARC 圆弧 在圆形精细阴极上电弧
UBM 非平衡磁控溅射 在闭合区域内用线圈增强等离子体密度的溅射
DMS 对靶磁控溅射 增强等离子体密度磁控溅射,适合制备氧化物涂层,工艺过程稳定
HYBRID 电弧与溅射结合 电弧镀附着力强,溅射镀能获得特定性能
PACVD 等离子辅助化学想象沉积 等离子辅助的气相沉积
HIPIMS+ 高能脉冲磁控溅射 适合工业应用,非常高的等离子体离下获得良好结合力和涂层致密度
新型共轨喷射器元件不仅必须耐受高表面压力,而且必须同时耐受由燃料中很小的粒子残余物带来的高磨损侵蚀。硬碳涂层确保大幅降低新型共轨喷射器中受摩擦应力元件的磨损,能够使这些元件达到要求的使用寿命。